第371章 鹊桥 作者：鸦的碎碎念 实时动态补偿？ 梁孟松当然知道這個解决方案。 类似的方案在半导体领域就有应用。 “我們已经安装了大量的传感器，但它们只是在记录温度和振动。 我要你重新编写算法，让它们成为预测和修正的神经系统。 将光刻机的关键参数与环境传感器数据直接挂钩。 基于過去数千小时的良率数据，建立一個预测模型，在环境变化尚未对光刻胶产生影响之前，模型就提前预测出焦点将要发生的漂移量。 最后利用CG1内部自带的高速微致动器，在微秒级别内，动态微调透镜组的位置，以抵消环境变化带来的光学失真。 這就像一個外科医生在抖动的手术台上，依靠神经反射保持手部稳定。 這样一来，光刻机就不再追求静止的完美，而是追求动态中的完美。 环境越不稳定，我們的补偿系统就越有价值。” 林燃停顿片刻后說道： “這套动态系统一旦成熟，不仅能够激活4nm的潜力，解决你现在所面临的問題，而且能够把我們7nm产线的良率再往上推一大截，和台积电7nm制程的良率达到一致。” 梁孟松听完，他立刻明白了林燃的意图：不是去战胜自然法则，而是去适应它，并利用数据和算法来驾驭它。 “动态补偿……”梁孟松喃喃自语，眼中精光闪烁，“用软件和算法去弥补硬件上的不足。用我們最擅长的信息技术去解决他们引以为傲的精密光学問題。” 他脸上兴奋的表情只出现了很短暂的時間。 很快表情就转变成工匠的严谨和质疑。 浸淫半导体行业数十年，梁孟松当然知道“实时动态补偿”的概念，但他更清楚，将這项技术应用于CG1這类光刻机上的难度，简直是几何级数的提升。 “林总，动态补偿从理论上而言当然可行，但我們都很清楚，您也亲自参与過我們生产线的构建，您很清楚理论上可行和实际工程上落地之间的差距。 很多时候他们之间很可能横亘着马裡亚纳海沟。”梁孟松的语气变得急切，他必须让林燃明白其中的巨大工程鸿沟。 “在实际的工业中，动态补偿在半导体领域也有应用，但那些场景的時間常数和运动幅度，与光刻机核心曝光的场景完全不同。” “最常见的应用之一是CMP，也就是我們俗称的化学机械平坦化。 在CMP设备中，我們使用实时监测来调整研磨力的压力分布，以补偿晶圆在研磨過程中厚度的不均匀性。 這個過程是低速的，调整频率可能在秒级甚至分钟级。 设备有足够的時間去采集数据、计算修正量，然后执行。 另一個我能立刻想到的应用场景是等离子刻蚀。 我們会在刻蚀腔内用光谱仪实时监测等离子体的状态，然后微调气体流量或射频功率，以补偿刻蚀速率的漂移。 這個反饋频率可能达到毫秒级，但它修正的是化学环境，不是直接修正光学焦距。” 梁孟松用手指指了指仿佛存在办公室空气中的CG1光刻机：“但现在我們面对的是什么？是CG1的超构透镜。 這套系统对温度和振动的敏感度极高，一個微小的气流变化，都会在微秒级的時間内导致几纳米到几十纳米的焦点漂移。 我們的动态补偿系统，必须在微秒级内完成：数据采集到预测模型计算再到微致动器物理移动的全過程。 這要求致动器本身具有超低延迟、超高精度的响应能力。 传统半导体设备上的致动器，根本达不到這個速度和精度要求。 這其中不仅仅需要算法上的革新，同样需要设备层面的革新。” 梁孟松语速很快，话题跳跃的同样很快，聪明人之间的交流就是要更轻松。 梁孟松最后的话语带着强烈的工程警告意味：“CG1的超构透镜的物理特性，意味着它的补偿路径，比传统光刻机更复杂、更非线性。 這套系统是人类在DUV上的极限尝试，它的不稳定性是内生性的，而不是简单的外在干擾。 我們等于是要制造一個能预知自己‘失衡’，并在失衡发生前就完成‘平衡’的超级复杂系统！” 他看向林燃，总结道：“林总，从难度上来說，這件事的难度甚至要比我們過去从零开始EDA软件還要难得多。 這個鸿沟，远远不是CMP或刻蚀那种级别的动态修正可以相比的。” 林燃点了点头：“当然，我当然知道，你知道的，我同样知道。 想要独立于整個西方世界做出一整套的半导体生产制造体系，這本身就是在做一件不可能完成的事情。 這当然很难，可問題是，這是我們现在能迅速达到5nm最可能的路径。 从五十年代到现在，我們一路都是這样走過来的。” 林燃的话充斥着巨大的自信，难又怎么了？干就完事了。 他最后总结道：“算法上的問題交给我解决，无论多难的模型，我一定会给你找到那個合适的解，工程上的問題交给你，你需要做的就是整合国内现有的资源，国外能买到的资源，从工程上去实现它。” 梁孟松站起身，伸出手，在握手的时候，他只說了一個字：“好。” 這位所谓台积电的叛将，将给台积电带来真正意义上的致命一击。 2026年的第一天，阿波罗科技的直播间，和往常不同，今天這裡是林燃亲自开直播。 林燃坐在自己的办公室，身后就是一面白墙，什么书都沒放。 办公桌上倒是略显凌乱，各种文件摆在一起。 林燃坐在镜头前，身穿一件灰色羊绒毛衣，能看出来质感很好。 “今天是新年第一天，也就是元旦，老规矩，我只负责闲聊和解答，真正的发射由我們的宇航员和地面控制中心完成。 我现在已经飞文昌越来越少了。 大家应该都从我們的官方公告也好，又或者是新闻媒体的报道也好，大家应该知道我們的月球电磁轨道。 或者說，大家更喜歡的那個名字，月球钢铁之龙，建设进度又往前推进了一大截。 它现在能给飞行物提供更高的初始速度，包括中间的连接节点我們也更换了新的电磁材料，它会有更好的导电性。 所以今天，我們要干一件大事，在今年的月地窗口，进行一次飞船发射。 上次发射只是发射一個飞行器，无人的飞行器，重量很轻，和月球探测车差不多，就几十公斤而已。 我們只是做了一個技术上的可行性驗證，确保這條路径可行，提供的推力足够，然后月球表面散热效果及格。 這次不一样，這次是一艘最新设计的飞船，它采用了非常激进的设计，大家看我們官方微博放出来的设计图都能看出来。 它的形状有点类似圆锥，底座宽大而坚实，如同一個倒扣的浅盘，完美地贴合了电磁轨道的结构。 它的外形是纯粹的功能主义。 因为大家都知道，月球上是沒有空气的，也就意味着沒有空气阻力，所以不需要考虑流线形。 我知道大家很喜歡流线型，觉得這样才酷，实际上宇宙中航行，這样的设计只有美学上的意义，還是人类所能感受的美学，外星人未必就能感受到。 它有宽大的底盘，有圆弧形的前端，我有看给我的评论，大家调侃這個形状放平，会很像UFO。 实际上這是为了在轨道上实现最佳的磁耦合和加速度应力分散，而圆弧形的前端则为未来返回地球时提供最佳的钝头体气动外形。” 林燃的直播间迅速涌入了上千万观众，他们来自不同的平台，弹幕拥挤地林燃沒有回答網友们的提问，只顾着自說自话。 同时很多主播进行转播，他们会配上一些更酷炫的动画，类似什么月球南极沙克尔顿陨石坑的3D动画，上面用ai处理過的电磁轨道更具科幻感。 类似的直播间有很多，還有一些做出复古科幻效果的直播间，做一個转播。 但這些二路加起来都沒有林燃的直播间人多。 哪怕網友们听不懂什么是磁耦合，什么是应力分散，什么是气动力外形，在专业主播那好歹会给你讲解两句，林燃只是在闷头說着自己想說的。 沒办法，他就是這個时代华国最耀眼的科技明星，从各方面来說，都要远超同赛道的其他科技创业者。 林燃接着說道：“這次发射不同的地方在于，這是人类歷史上第一艘，完全依赖电磁轨道提供初始速度的载人飞船。 当然這次载的是同等比重的模型，不是真人。 如果這次发射顺利，下一次就是真人回来了。 飞船我們命名为鹊桥，和华国航天的鹊桥卫星撞名了。 不過問題不大，我和他们說了，他们的意思是他们的鹊桥是指卫星，這不是重名。 因为它会做快速返程，随时有需要，只要在時間窗口内，它就能发射。 主要是电力，它的热盾也是用的月壤材料3D打印而来。 一次返回的成本几乎只有电力和折旧成本，低到可怕，我們内部估计，一艘鹊桥，完成一百次往返的话，它的单次往返成本只要200万rmb。 去的话由可回收火箭进行发射，回来则是靠电磁轨道。 全程自动导航。 也就是說，我們去一趟月球旅游的机票成本价是200万，做個五百万的旅游产品，大家有兴趣嗎？ 不過我估计雷总心裡会骂死我，他去一趟是10亿，你们是500万，這价差有点太大了，正常来說心裡很难用早买早享受来說服自己。 它能容纳两名宇航员，今天晚上，我們就要用它来完成一次从月球到地球的快速返程测试。” 简单的解释结束后，林燃扫了一眼弹幕，挑了一個最集中的問題。 林燃說：“好的，第一個問題，‘电磁轨道是如何将载人飞船加速到月球逃逸速度的？人不会被压扁嗎？’问得非常好！這是最核心的技术难题。 众所周知月球的逃逸速度是2.4公裡/秒。 在20公裡的轨道上达到這個速度，载荷承受的加速度会很大。 为了保护宇航员，我們采用了多级线性加速系统，也就是我前面所說的，在不同阶段更换了新的电磁材料。 同时结合了液态缓冲座椅。 简单来說，加速度会被分散到整個轨道上，宇航员承受的峰值加速度被严格控制在4G以内。 4G是什么概念？就是你们坐過山车时，最刺激的那個瞬间。 普通人完全可以承受，当然，宇航员都经過严格训练那就更可以了。” 林燃看着第二個問題：“很多朋友问，沒有传统燃料，怎么变轨？ 不是沒有传统燃料，而是传统燃料很少，另外配备了新型霍尔推进器。 我們靠传统的化石燃料发动机做变轨，靠新型霍尔推进器做细微的角度修正。 靠這两者配合，结合鹊桥上的导航系统，来准确完成两次变轨，一次从近月轨道到地球转移轨道，另外一次就是从地球转移轨道进入地球的高椭圆轨道，准备再入大气层。 弹幕中开始出现關於飞船返回地球的热防护問題。 林燃回答道：“对，大家都知道，飞船返回地球时会与大气层剧烈摩擦，需要隔热层。 這艘飞船最酷的地方在于，它的隔热层是月球制造的。 我們利用月壤中富含的二氧化硅、云母粉，在月球3D打印工厂裡合成了复合隔热材料。 宇航员在月球上，通過自动化喷涂系统，为飞船重新穿上隔热盔甲。 這套隔热层是消耗型设计。它在高速返回地球时，表面的升华物质会挥发，留下微孔碳化层，有效隔热。 這就是为什么鹊桥在返回地球后，表面会黑乎乎的。因为它的隔热层，是用完即弃、就地取材的。 這套系统在過去一年時間裡，已经进行了充分的完善和优化。 它能适应不同形状的宇宙飞船。” “电磁轨道的本质是太空炮，這会被视为潜在的动能武器发射平台，引起地缘政治的动荡，這是否是一种不负责任的行为？ 這位ip在霓虹的华人朋友，你這問題是不是有点太专业了？”