第108章：创新 作者：长胜之虎 长胜投资集团开過动员会之后，相关各单位就立刻行动起来。他们還是選擇长胜精工的实验车间为研发基地，因为目前只有這裡，才有高精度的机加工能力，也只有這裡，才符合這些设备安放的條件。 郭东算是這裡的地主，于是他就自然而然的成为此次研发任务的领头人。虽然他们已经成立了独立的机械研究院，但他们還在這裡办公，也可以称得上是主人。 還是老规矩，研发之前先开会，郭东作为主人在椭圆形的会议桌档头，其他人就分列两边。這個位置平常是老板坐的，今天他能坐這個位置开会，郭东感到很兴奋。“咳咳”他首先清了清嗓子，才用愉快的语气說道：“各位领导，我們先做一下简单的分工怎么样？” “怎么分工呢？”化学研究所的王波和他熟，因此他先开口问道。 “我是這样想的，两样设备，我們分作两组讨论。根据所占的技术比重，我們每组选出一個领头的。 首先，光刻机研制组。由我們、软讯公司、电子研究所、光学研究所、化学研究所负责研制，這個设备我們所占比重最多，我就领头，大家认为怎么样？” 卢汝成和洪涛两人，本来以前就是他的部下，因此他们俩人都沒有反对。光学研究所和化学研究所，說实话在光刻机中所占的技术比重真不大，因此他们也沒有反对。 “同意”几個人都表示赞同。 “那好，光刻机研究组就這么定了，待会儿我們再开会具体的讨论技术细节。至于离子注入机，则纯粹是一個物理原理，我提议由物理研究所领导研制，大家认为怎么样？” 郭东又提出了离子注入机研制组的负责人人选，沒办法，谁让他坐在主席位呢？他不牵头他肯定其他人都不会說。 這次就沒有人出言支持他了，但也沒有人反对。等了几分钟，郭东见沒有人发言，就接着說：“那就這样吧！我們分开讨论。你们放心，离子注入机研制组，我們也会派机械工程师参加的。” 說完他就站起来，然后对在坐的其它几位负责人說道：“卢总、王所长、洪所长、胡所长我們到隔壁的办公室去讨论具体的技术细节吧！你们的位子让你们的技术员填补。我們两边分开讨论，互不干擾。” “郭院长有令，我一定坚决执行。”洪涛开了個小玩笑，然后他也站起来对坐在旁听席的张东方說：“张东方，你来代替我坐這裡开会。” “哈哈”在座的人都发出了善意的笑声，手上也沒有闲着，其它几位也找了人代替自己。只有郭东的手下例外，他沒有坐郭东的位子，而是坐到会议桌离主席位最远的位子。他有自知之明，知道那個位子不是他坐的。 物理研究所的所长叫王卫红，凭他的名字，一看就知道是60年代出生的人。他是后来沈丹青对研究所的改革，而竞选成功的。說实话，他的资历是在座的负责人当中是最低的。但他初生牛犊不怕虎，否则也不可能竞选成功。他等郭东他们几位走后，就转到主席位坐定說道：“虽然我知道我资历最浅，但事情总得有個挑头的，大家又沒有反对，我就厚颜当這個组长了。” “啪啪啪！”這时，会议桌上的人开始有人给他鼓掌了，都是刚刚代替的人，他们不是一個级别，因此沒有人觉得不妥，反而觉得他很有魄力。 离子注入机研制组的人虽然不太齐心，但总算是开了一個头。另一边的郭东几人来到郭东他的办公室后，郭东請他们落坐，然后亲自为他们泡了茶。 “郭院长，客气啦！客气啦！還劳你亲自泡茶。”王波接過郭东的茶，嘴上客气道。 “這不是应该的嗎？难道我去你那裡你還不给我泡茶。”郭东也客气的回应。 卢汝成和洪涛则大大咧咧，就像理所当然的一样接過茶就喝，他们在一起共事几年了，早就沒有了生疏感。只有光学研究所的胡所长比较拘谨，他也是新竞选上来的，而其他几位则是老板亲自提拔的，因此他自认身份比他们低一头。 “嗯！”郭东哼了一声，就开始讲话了： “光刻机据我的了解，我們已经将前期的技术难点已经解决了，在别人看来很难的問題，我們就只要组装了，唯一麻烦的是后期的实验数据采集，但沒有难度了，只是要花時間。” 讲到這裡，他就问卢汝成：“卢总，数控部分，你们能解决吧！” “沒問題，這個数控系统比数控机床简单多了，只有几個直线动作和机械臂的输送动作的协调，我們几天就可以解决，只是数据采集要花点時間，我打算要学员们干，让他们历练历练。”卢汝成表示很简单，他還打算只要学员们干，当然他们得把关。 “那就好，你们沒問題，就真的沒問題了。我先和大伙說說我对光刻机的设想，据我所知，光刻机根据曝光方法的不同分为：接触式、非接触式和聚焦式三种。 接触式是以前的老方法，缺点太大，我就不讲了。聚焦式虽然更先进，但难度也最大，我們目前還沒有這個需要，可以做为以后的研究课题。为了赶時間，我打算這次就采取非接触式，符合我們目前的制程工艺，最高精度可以达到二十纳米以内，目前来讲完全足够了。相反，我們的芯片设计還沒赶上来，這次就只试制十六位元的芯片，精度只要达到u米级就够了，洪所长你们扯后腿了啊！” 郭东又开了洪涛的玩笑，不過這却是实情。洪涛也很无奈，芯片设计很复杂，需要大量的熟练人手。跟老板說得一样，要设计纳米级芯片，至少得有几千熟练电子工程师，否则想都不要想。 想到這些，洪涛接過话头說道：“目前我們只能设计一些简单的芯片，连32位元的芯片都要花大量時間才行，至少一年计，我們的熟练人手太少了，实在沒办法。老板也知道我們是短板，因此我還被老板批過。唉！” “好啦！既然老板已经批评了，我們就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑，然后正式說道：“非接触式光刻的技术要点就是激光头、掩模板還有基片要无限接近，最好只相差几個纳米，這样才能保证最大的精度。這是属于一种1:1投影技术或者說光刻技术，对掩模板的制作要求非常高，卢总，能不能将设计图进行电子图缩小？而不是光学缩小？” “理论上是可以的，我們尽量想办法，也就是說我們根本不搞纸质图纸了，直接用电子图纸投影曝光？”涉及到他的专业，卢汝成想也沒想就回答了。 這时洪涛也获得了灵感，因此接過了话头說道：“我打算采用液晶投影技术，液晶是一种分子级别的化合物，只要我們技术足够，那么控制精度可以无限小，我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小問題。我們就不走国外那套老路了，那样太复杂，而且精度不够。” “也只有你才知道国外是怎么搞的，我們从来都是自己搞自己的，不也很好嗎？只要我們达到了目的就够了。” 這时王波也插话說道，他对国外是怎么搞的是真不懂，他的话沒有半句水份。 “洪所长這個主意很好，這样电子图形缩小就沒問題了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。 “這样我們是不是可以取消掩模板呢？” 郭东提出了一個大胆的设想。 “当然不行，液不能代替掩模板，因为液晶屏是通過光的偏振原理，来实现图像显示的。它根本就不可能实现，高精度光刻，不過我們可以试一试，让液晶屏代替光刻机，给掩模板显影电子图形，如果能够做到，也是一种了不得的进步，能节省很多步骤。 不過我們必须研究出一种，对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候，又能有效的保护未被光照的镀铬层。” “王所长，這点你们能解决吧！”洪涛先给郭东解释了液晶原理，然后又问王波道。 “沒問題。自从研究光刻胶以来，我們已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质，给掩模板用的光刻胶，我們已经研究出来了。效果怎么样？要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。 “那太好了，那我們就试试吧！”郭东激动的說道 由于這次用途的特殊原因，他们不需要复杂的液晶技术，只需要第一代液晶技术，即tnlcd。就是简单的黑白屏，白光就是电路图，如果掩模板与液晶屏隔得足够近的說，也可以留下满意的电路图形。 還有一点与普通的液晶屏不同，這裡的背景光源是强光源，他不是给人看的，而是专为掩模板曝光的。 当然缺点也很明显，由于液晶分子的大小原因，精度不够，因此不适合纳米级芯片技术，這是他们后来经過实验，才明白這個道理的。 未完待续……