第120章:干法蚀刻 作者：长胜之虎 总算是给政府解释清楚了，不管他们到底相不相信，起码不会立马图穷匕现了，這是他最担心的。說实话在九几年的中国，最多的钱，也不能保证完全安全。政府還是专政机关，外资企业要好点，毕竟他们受自已国家的法律保护，一般的父母官不敢乱来。 从市委朱书记那裡告辞，回到公司后，沈丹青吓得出了一身冷汗，幸亏他說服了朱书记，否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了，這可不是开玩笑。当然啦！也幸亏這件事上了中央新闻，有可能被高层领导关注了。政府可能也有這方面的顾虑，总之這件事情算是過去了。 這件事情過后，长胜投资集团总算是過了一個坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙，于是他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。 王全福真是哭笑不得，才刚开始派人去，能有多大的进展，他们第一期选址都還沒开始呢？因此他只好亲自上来，耐心地跟老板解释：“老板，他们還在考察地形，，总得做一個全局的规划，否则以后会顾此失彼。” “好吧！是我心急了，你让他们仔细地规划吧！有了结果再告诉我。”沈丹青承认自己心急了，正所谓关心则乱，得好好冷静冷静了，他在心裡对自已說。 “好的，老板。我有消息会第一時間告诉你的。如果沒什么事，我就告辞了，公司還有一大摊子事等我处理呢！”王全福不敢說老板是乱弹琴，只是說自已很忙，言下之意就是告诉老板，不要下乱命令，耽误别人的正事。 “嗯！你回去吧！”沈丹青轻轻的挥了挥手，意兴珊阑的說道。 時間是一记很好的抚慰剂，任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力，直至被人民淡忘。不知不觉又過了一個多月。在這段時間裡，长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。 首先是机械技术研究院和长胜精工，研制成功了芯片封装设备。這套设备与国外的同类设备有一点点不同，他不是采用什么传带式的流水线。而是釆用他们熟悉的轨道直线电机，上面安装自动机械臂的输送方式，等于是初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空吸盘，盛放硅晶圆的托盘就被牢固的吸附在吸盘上。整個输送過程，都不需要直接接触芯片，未封装的芯片是非常脆弱的，稍有不注意，就会造成机械损伤，甚至是报废。另外，他们這套设备效率非常高，是完全的自动化，不需要人工参与，因此能保证厂房裡面的灰尘降到最低。整個厂房几乎是密封的，沒有人员进入，灰尘当然就少了。 物理研究所的胡所长领导的离子注入机事业部，也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注入机设备。能给沈丹青报来喜讯，当然已经是非常成熟的设备了。他们還算是运气好，幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子加速器，這两样科研设备。否则如果让他们从新研究，就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。 到了此时，就只剩自动检测程序沒有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下，得知他们的任务非常困难，非短時間所能解决。于是他做出了一個决定，让這套芯片生产设备开始试制芯片，有什么問題尽量在生产中发现。用财力促进加速芯片技术的发展。前期的問題肯定很多，這些都是自动检测程序的宝贵的资料。 沒有自动检测程序，需要人工检测，芯片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所說的一样，整個生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不過沈丹青不会在意，对长胜投资集团来說，能用钱解决的問題都不是問題。 用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片，难度当然很低了，初次制造，合格率就非常高，达到了53%，不合格的芯片，不是工艺問題，而是化学蚀刻的原因。他们研究的這套化学蚀刻设备太過简单了，還缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术，因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂，溶解沒有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻，就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备，沒有经验，以为只是一個纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备，以前4位元芯片的时候，人们就是使用這种技术。到如今当然已经不适用了。 得到了化学蚀刻出现問題之后，沈丹青非常重视，他立刻召集了相关科研单位商讨对策。 說实话，他们是第一次见到這個問題。用化学方法蚀刻這么微小的图形，本来就很神奇。现在却說這种方法不行，要另想办法。這可真的难住他们了，他们一时也沒有了好办法。最后還是沈丹青记起了前世的一些书上讲過，蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们說：“试试干法蚀刻，或许要好许多。” “老板，什么是干法蚀刻？你能祥细的告诉我們嗎？”化学研究所的所长王波就站出来问他。沒办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢？ “先聲明啊！我不懂具体原理。我只知道在一定的气压压力下，电浆离子与氧化硅或铜起反应或高速撞击，使之同样气态电离化，然后用抽气机抽走。又进行同样的步骤，直至蚀刻出我們需要的图形。這种方法能减少侵蚀，得到比较陡边的图形。应该来說会比湿法蚀刻好得多，也精密得多。不管怎么样！大家先试试看吧！”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来，具体的技术和方法就要他们去研究了。 “老板，具体点，是哪几种电浆，你知道嗎？”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道，所以才用這样的语气請问他。 “我怎么知道？我又不是科学家，我只不過是看到书上提到了几句，具体的原理和方法，還要你们自己去实验，我是帮不了的。”果然不出王波所料，老板不知道。而且他還讲的理直气壮，也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们這些专业的科学家都不知道，也真是怪了。老板经常神神秘秘的，好多的先进技术，都是从他的嘴裡讲出来的，虽然只有皮毛，但是起码有了方向，不再是一无所知。 “大家听我說，刚才老板己经为我們指明了方向，我們就以這個方向为突破口。我刚才大体考虑了一下，觉得非常可行。许多技术，我們在研制离子注入机的时候己经掌握了。這种新方法，无非是在离子注入机技术的基础上加上了化学反应。而未知的游离电浆，我也有了初步的预判。我們只研究与氧化硅和铜起反应的两种电浆。其它的蚀刻，還是釆用湿法蚀刻，不会影响成品率。那么這两种电浆就是我們化学研究所的任务了。其它的机体部分，還是和离子注入机差不多。我們先试着干吧！……” 王波主动的站出来发言，话還沒讲完，就被沈丹青打断了：“很好，刚才王所长的讲话非常有见地。我现在任命王所长为這次干法蚀刻设备研发的事业部部长。其他人都要听从他的指挥，他還可以从整個公司调配人力和资源。为了提高你们的急极性，我提早告诉你们一個好消息。” 沈丹青的话沒讲完，在场的人的心思就纷纷蠢蠢欲动了。老板嘴裡說出的好消息，那一定错不了。 大家的举动，沈丹青都看在眼裡。他不仅沒有气恼大家打断他的话，反而非常高兴的接着說：“只要這套芯片生产设备，研发成功。具备一定的精确度和良品率，我們就会去长沙设立第一家芯片制造工厂。工厂正式投产之后，所有参与研发芯片制造设备的工作人员，你们的欠款，全部一笔勾销。怎么样？這個奖励大家满意嗎？” 整個会场，一时失声。大家都太震惊了，不敢想象老板既然能给這么重的奖励。要知道，参与研发人员，至少都是工程师级别的技术员。级别高了，他们欠公司的钱也就更多，少的也欠了上百万，多的欠了几百万，比如各研究所的所长。這次奖励，比他们這几年工作所得的工资和奖金還要多，能不让他们兴奋嗎？“哦！”会场响起了一片欢呼声，老板的奖励太给力了，他们一时控制不住自已兴奋的情绪，沒有任何人例外。 沈丹青看着会场上的人员的反应，满意地点了点头，他要的就是這种效果，只有不断激励大家，他们才能给他更大的回报。這点钱算什么，后世纳米级别的芯片制造设备，沒有几十亿你想都别想，单位還是美金。中国人想买，他们還不会卖给你。现在长胜集团自已研发了全套技术，先不管先进与否，只要有了，以后就可以不断改进。能与欧美并驾齐驱，這种感觉就像毒品一样，令沈丹青深深的迷醉。 未完待续……