第三百九十六章 投影曝光 作者：未知 如果沒有周硕的干擾，从0.35微米工艺向0.25微米工艺過渡的光刻机，真实歷史上实际使用的是步进重复投影曝光技术。 在0.35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片，是一对一全比例设计。 掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触，接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把這样的晶圆放到蚀刻机裡面，化学药品就会将沒有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入…… 把镜头和晶圆直接接触，或者两者之间只有小缝隙的接近，這种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用這种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。 這种设计自有其好的一面，对镜头精度要求低，系统复杂度低，以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷，0.35微米工艺基本上就是其经济性的极限了。 0.25微米工艺光刻机想要延续接触式曝光，整個系统需要的机械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度，系统的集成难度都开始了几何级数的增加。 于是在原本的歷史上，尼康也好、阿斯麦也好都選擇了另一條路，那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。 這种技术說白了，就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。這样经過几次聚焦、折射、再聚焦，最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。 对于沉浸式光刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避免了使用防水光刻胶的高成本。 其实說起来，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以发泄自己内心的畅快！ 日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术，原本他们這個技术至少是可以吃一代光刻机沒問題的。歷史上，早期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光刻胶才退出了歷史舞台。 他现在拿出来的這份文件，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以說這项技术一出防水光刻胶就是一個废物了！ 鹤田刚开始還不以为然，在他的心裡早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪裡還有什么翻盘的机会？ 這個年代裡，日本人不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。整個九十年代，世界十大晶圆厂，日本人占了半数還多！ 在鹤田和所有日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛！ 除了沉浸式光刻技术這种独辟蹊径的取巧之道，日本人绝不相信泛翰集团還能在其他方向产生突破，他们手裡的底牌也就是仅此而已。 然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。這对鹤田来說，不啻是一個巨大的嘲讽。 以技术先进为傲的尼康，竟然会屡屡失败在一個小小的中国企业面前！這tm的不科学啊！ 鹤田的脸色随着他看完整個授权专利证书之后，就黑的好像一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家花费巨资研发出来的技术。转眼就被人给淘汰掉了，心裡肯定都会恨不得把对方给咬死。 可惜，鹤田注定是不敢咬死人的。 步进投影技术不仅能摆脱对防水光刻胶的依赖。更重要的是只要稍作优化，立刻就又能把光刻机制程技术向前推进一個时代…… 你们要不要這么逆天？！ 鹤田很想這么呐喊一声。如果让泛翰集团這么肆无忌惮的发展下去，說不定连摩尔定律都要被打破了。 从0.35微米工艺都沒普及的程度。直接跳到0.18微米，可以想象這会在市场上掀起怎样的腥风血雨。 鹤田牙缝裡再敢蹦個“不”字，尼康就要被管杀不管埋了。 “周桑……這個文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋裡一团乱麻，只能问出這么沒有营养的問題了。 他对重复投影式曝光技术并不陌生，如果說沉浸式光刻技术是左道旁门，那投影式曝光就是名门正道！光刻机提升性能的主要方法，大多都是通過增加光学系统精度实现的——而重复投影曝光技术，可以說是将這种思路延续到了极致！ “呵呵，是不是真的，尼康可以自己求证一下。”周硕无所谓的耸了耸肩，轻松的笑道。 鹤田背靠在椅子上，心知這种事情是不可能作假的。只要他一個电话過去，用不了半個小时查询结果就能出来，耍這种花招毫无意义。 即使如此，他仍然吩咐手下让人去查询相关的专利情况。一纸证书能够体现的东西有限，专利註冊的时候需要提供很多技术思路，說不定也会有所收获。不過那都是以后的事情了，现在周硕表现的来的实力，却不允许他再肆无忌惮的打压下去。 “好吧，周桑。”鹤田呼出一口气，這种胜利即将到手却被人绝地翻盘的感觉，实在是太伤士气了。他强打精神抬起头来，看向周硕說道：“既然情况出现了变化，尼康可以重新考虑原来的要求。违约金、退股和迁移生产线這些問題，咱们都可以好好谈一谈……” “谈什么？”周硕抱着胸，笑吟吟的问道。 “呃，谈谈你手裡的技术。”鹤田老脸一红，這样的转变未免太過生硬了一些，不過這时候却也顾不得了：“說实话为了实现利润最大化，现在就公布投影步进式光刻技术并不是一個好主意。要我說大可当做储备技术，等我們在沉浸式光刻机上面赚到满意之后，再放出這项技术来。” “怎么，尼康现在不想把我扫地出门了？”周硕低头抠着手指甲，心不在焉的问道。 “哈哈，尼康怎么会有這种打算！”鹤田大笑了一声，掩饰他脸上的尴尬，晃着拨浪鼓似的脑袋說道：“泛翰集团是尼康最重要的合作伙伴，我們绝不会做出這种……嗯，卸磨杀驴的事情。” 他自认为用了一個中国成语還是很值得高兴的事情，自得的笑着笑着却再也笑不下去了，因为对面的周硕脸上始终都是冷冰冰的一片。 “鹤田桑敢做不敢认，這就太沒有男子汉气概了。”周硕淡淡的說道：“既然尼康不想收购我手裡的股份了，那咱们就谈谈你们手裡那51%的股份吧。” “纳尼？”鹤田坐直了身体，眼光猛的正经了起来：“周桑這话是什么意思，51%已经是尼康持股的底线了，這個條件是不容讨论的問題！” “這么說吧——”周硕轻轻的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，渐渐收敛起笑脸道：“破产和出售光刻机子公司，尼康選擇哪個？” “周桑這话是什么意思？”鹤田的脸上难得出现了一丝慌乱，强笑道：“你知不知道尼康是什么公司，岂是能說破产就破产的？” 周硕哦了一声，挑了挑眉說道：“那是我說错话了，尼康每月五個亿的违约金都能支付的起？” “五個亿？”鹤田吓了一跳，惊恐的看着周硕，矢口否认道：“什么五個亿，我們尼康哪裡需要支付五個亿的违约金？” 鹤田怎么会不知道周硕說的是什么，正是因为他知道，所以才心中惊恐万分。尼康和intel签署的合约不說是绝对机密，但也不是谁想知道都能知道的。虽然对這次合同提出了這么高的违约金感到奇怪，但因为彻底掌握了光刻机市场，尼康并沒有太過在意。 一個月五亿美元的违约金确实是高，但intel也要有這個胆量来收。 在阿斯麦已经推出竞争的今天，整個光刻机高端市场都落入了尼康的手裡，尼康光刻机就是皇帝的女儿——不愁嫁。在這种合作关系下，合同就是一张纸，intel又怎么敢真的去收尼康的违约金？ 就好像移动吞了用户的月剩余流量，绝大多数移动網络用户都不会說這不合理，即使不合理也要有這個本钱去和垄断资本谈判啊！ intel如今是求着尼康供货，而不是尼康求着intel。這五個亿美元的违约金好拿不好用，除非intel以后再也不升级光刻机工艺水平，否则怎么敢這么得罪尼康？ “呵呵，看来鹤田桑真是贵人多忘事。”周硕不以为意的耸了耸肩，露出一口洁白的牙齿笑道：“您可以想想看，如果阿斯麦得到了重复投影曝光技术，intel是否還会這样有耐心的等待下去？” 周硕這话說完，突然对面噗通一声。鹤田在众目睽睽之下，竟然从凳子上滑了下去！(未完待续。。)