第八十九章：范学东 作者：长胜之虎 长胜精工，领导這次研发的是郭东，他等老板和吴总走后，就继续主持会议。 他是具体执行人，当然要将事情安排得更细了。 “咚咚”他也学着老板的样子，敲了敲话筒。看到同事们停止了說话，将注意力放到自已身上后，就开始說：“這次研发的设备很复杂，不是老板說得那么简单。我刚才仔细思考了一下，决定做出以下安排。首先，”說到這裡，他指着前排的一個大概25、6岁的年轻人說：“赵东海，你带两個人去非全属研究所拿几根单晶硅棒回来，還要請最少一位研究员過来，他们是這方面的行家，我們還有许多問題要請教他们。” 紧接着他又点了两位年轻人說“王青松和张小璐，你们俩人分别去电子研究所和总部的软讯公司請他们派人来。他们也是這次研发的主力军。” 說完這些话，他就站起来說：“现在就散会吧！不過大家要注意，下午還要开会。”“散会”他又学着老板的样子，边說就边往会场外走了。 郭东回到办公室后，只等了二個多小时，邀請的其它研究所和软讯公司的人就来了。 大家都知道老板很重视，软讯公司是卢汝成亲自带着全部人马来了。电子研究所也是张东方和吴满第二人亲自带了几個人来了，非金属研究所只来了一個人，這些设备与他们的关系不大，能派一個人来，已是不易。 非金属研究所的来人叫范学东，因为他是客人，郭东先与他握手，嘴裡說着客气话：“欢迎欢迎！” 然后他又对其它人說：“你们都是熟人，我就不一一握手了，我們抓紧時間要紧。现在有范先生在這裡，我們先拆开一條单晶硅棒瞧瞧，我們有什么不懂的地方好当面請教。” “对对对，郭部长說得对，我們抓紧時間开始吧！浪费時間是可耻的。”卢汝成跟他开了個玩笑。他装着滑稽的表情說。 “哈哈哈哈！”办公室裡其它的人都哄堂大笑起来。這次来的人除了范学东其他人都是熟人，以前都是郭东的手下，不過现在已经不归他管了，因此难得的放肆了一回。 但是长胜精工的技术员，却不敢笑，想笑也只能用力憋着。他们依照郭东的命令，手忙脚乱地拆开了单晶硅棒的外薄膜包装。 大家都蹲下来看，发现整根硅棒大小不一，有提拉部，颈部、生长部、尾部等。外型也不圆，外表還涂了一层可能是防氧化的油。 “看样子，只有中间這一段有用啊！”郭东指着中间那段大约20英寸直径的生长部问范学东。 “是的，就是中间這一段，也有些不合格的，不過可以作为底片。每一根加工成型的棒材都需要通過人工检测，合格的作为基片，不合格的作为底片。具体的方法就是通過高倍显微镜观测，只有晶相一致的才能作为基片。” 范学东毕竟是专业人士，他比沈丹青介绍得祥细多了，也专业得多。這全都归功于新成立的技术信息部的功劳，他们从国外搜罗了大量的科学文献和技术资料，因此各研究所的技术员，他们的理论知识是突飞猛进。仅从理论上讲，他们已经不弱于国内各大研究所的科学家，在某些方面甚至超過他们。谁让沈丹青成立了技术信息部這么一個专业的间谍组织呢！所以說一家企业有钱還是有点用的。 “這得多浪费啊！，可能只一半有用吧！”郭东发出了感慨。其它人也都点头，认同他的观点。 “這已经算好的啦！国外還不如我們呢！這還得归功于你们制造的单晶硅生长炉非常精密。不過你们也不要担心，剩下的我們還可以回收。不会太浪费的。”范学东一副少见多怪的神态向他们解释道。 “那這些油呢？有什么清洗液嗎？”郭东又指着外层的油问他。 “当然有，并且還需要清洗两次，最后一次還需要用无氧超纯水冲洗。冲洗干净后，還要烘干。”范学东又向他们科普了一番。 “啪啪啪！”郭东蹲着仔细思考了一番就站起来拍了拍手掌說：“好啦！大家也了解的差不多了，我刚才仔细地思考了一下，发现問題還很复杂，远远不是老板所說的几台机器那么简单。” 說完，他就走到一张画图的办公桌边，拿了一张绘图纸和一支笔，先勾画了一個抽象的草图。他指着图上的两個图案說：“我把整套设备规划成两部分，一部分是不需要的氩气环境下工作的，另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。我先讲前一部分。” 說完他就又拿笔在纸上画了几個示意草图，他拿笔指着其中一個說：“我們首先要切断，因为是大物体切断所以不需要太精密，我设想就是一台机床就可以了，反正后续還有许多加工处理步骤。不過要注意，在切断的时候要加防氧化油，把棒材的两個横载面涂抹油，目的是防止氧化。” 說完這些他就又用笔指着另外一個图案說：“切断之后就要把硅棒滚圆，使它符合硅晶圆基片的大小要求，并且保持整根棒材圆整度的一致性，在這個加工步骤中，也要加防氧化油，使整根棒材外表有油保护，防止氧化。” 說到這裡，他又用笔指着另一個图标說道：“到了這一步，就必须在氩气环境内进行下一步了，因此，我們必须把去油、清洗和烘干這三個步骤集成到整個系统裡面。防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。” “等等，郭部长，清洗和烘干這两個步骤，光刻机、离子注入机和cvd机都要用到，而且你還忘了，回火這個步骤，单硅晶棒在切薄片的时候，因温度過高的原因会变形，因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士，比他们更了解整個制程工艺。因此出言提醒了郭东。 “谢谢你的提醒！范先生。”郭东不知如何称呼他的职务，只好叫他先生了。 “沒什么，我們不是一起解决問題嘛！” 范学东摇着手，客气道。 “好！既然是這样，那我們就把烘干炉和回火炉集合成一体，只需要加一個温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子說出了自已的想法。 說完他又皱起了眉头，然后像自言自语地說道：“不過這样一来，老板說的一條轨道远远不够，长长短短可能要十多條，像一條复杂的铁路系统了。只不過很短吧了。” “我想的也差不多，整套系统绝不简单，我們要把裡裡外外都考虑清楚了，再开始设计，尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最高的，還超過了他以前的顶头上司郭东，因此他沒有顾虑的发表了自已的意见。 “嗯！卢总說得不错，那我們休会一個小时，大家都思考思考。”郭东作为主人，作了决定。 郭东說完，大家都找座位坐下。每個人都在拼命地思考，在心裡描绘出整個系统的雏形，设想怎样才更合理。 “咚咚”過了一個小时，郭东准时敲响了桌子，将大家从思考中惊醒過来。 他见大家都注意到了自已就开始說道：“由于人数较多，就不一個個发言了，時間不允许。我說出我的想法，有什么不对的大家补充。” 他沒等大家回答，组织了思路就开始說了：“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一條轨道上，具体步骤按我說的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火，然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘，因为硅片很薄，不能用机械的方式传输，否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空吸盘式，肯定不能用卡钳的方式，否则损伤更大。上胶机必须设计两部，两种不同的胶不能混和在一起，否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一個烘干的步骤，這裡也要用机械臂直接输送不用设轨道。因此必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机体积都不大，可以布置得很紧凑。 又因为各個步骤都要检测，因此我們可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭，方便使用电子显微镜检测。 我设想的大体系统架构就是這样，具体到每部机器再具体设计。大家有什么补充的就說一下。” 說完他就坐到。，将位置让了出来。 “咳咳”卢汝成见其它人都不說，就咳嗽两声，开始发言：“我认为郭部长的设想已经非常完善了，我只补充一條，還需要一個单独的光刻胶腐蚀步骤。因为光刻机会进行多次光刻，那么就要进行多次的上胶去胶，因此，有必要设计一個单独的去胶室。” 說完這些他就不再說了，把時間让给别人了。其实到了這一步已经非常完善了，大家沒什么好补充的了。因此一下子冷场了。 郭东见大家不再发言，就又站起来說：“既然大家不再补充啦！那我們就散会吧！吃饭時間到了，我們公司食堂的饭菜很好的，大家都知道的。哦！瞧我，范先生是客人不知道。罪過罪過！” 說完他调皮的对范学东双手作揖。 “哈哈哈哈！”大家又开心的大笑起来。 一個有能力的人，总是会想办法调节气氛。而郭东就是這样的人。 未完待续……